NS-PT11
專為半導(dǎo)體行業(yè)高純工藝氣體輸送系統(tǒng)設(shè)計(jì)
接液部分：V+V
應(yīng)用：半導(dǎo)體工藝氣體輸送系統(tǒng)、高純介質(zhì)傳輸系統(tǒng)、電子特氣系統(tǒng)
帶LED數(shù)字顯示，計(jì)量單位切換，帶一鍵清零功能
一路模擬量、一路開(kāi)關(guān)量輸出
| 參數(shù) | Specifications | 技術(shù)指標(biāo) Technique data | |||||||||
| 壓力范圍 | Measuring ranges | -0.1 / 0~0.5 ...1… 2MPa | |||||||||
| 過(guò)載壓力 | Overload pressures | 200%F.S | |||||||||
| 破壞壓力 | Burst pressures | 300%F.S | |||||||||
| 工作方式 | Operational Mode | 表壓，絕壓，粗真空 | |||||||||
| 測(cè)量介質(zhì) | Measuring Media | -20-100℃ 無(wú)結(jié)冰 | |||||||||
| 輸出信號(hào) | Output signal | 0~5V 1~5V 0~10V 4~20mA | |||||||||
| 泄露測(cè)試 | Leakage test | 1.0× 10kPa L/sec（atm STD cc/SEC）符合SEMI F1 | |||||||||
| 接液部分 | Fitting materia | SUS 316L不銹鋼，RA 5（≤0.13μm） | |||||||||
| 工作電壓 | Operating voltage | 24VDC(16~32VDC) | |||||||||
| 綜合精度 | Accuracy | ±0.25%F.S（典值） | |||||||||
| 長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | Long-term drift | ≤±0.1%F.S/ 年（典值） | |||||||||
| 工作溫度范圍 | Operating temperature range | -20-85℃ 無(wú)結(jié)冰 | |||||||||
| 絕緣阻抗 | Insulation resistance | ≥100MΩ(100VDC) | |||||||||
| 開(kāi)關(guān)輸出 | Switch Output | NPN/PNP X2 | |||||||||
| 開(kāi)關(guān)容量 | Switching capacity | 100mA | |||||||||
| 旋轉(zhuǎn)角度 | Rotation angle | 270° | |||||||||
| 防護(hù)等級(jí) | IP protection | IP65 | |||||||||
| 顯示位數(shù) | Display digits | 4-digt LED | |||||||||
| 顯示分辨率 | Display resolution | 1 digit | |||||||||
半導(dǎo)體行業(yè)