NS-PT10
專為半導(dǎo)體行業(yè)高純工藝氣體輸送系統(tǒng)設(shè)計(jì)
接液部分：V+V
應(yīng)用：半導(dǎo)體工藝氣體輸送系統(tǒng)、高純介質(zhì)傳輸系統(tǒng)、電子特氣系統(tǒng)
電位器實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)零點(diǎn)
| 參數(shù) | Specifications | 技術(shù)指標(biāo) Technique data | |||||||||
| 壓力范圍 | Measuring ranges | -0.1 / 0~0.5...1…5…10…20MPa | |||||||||
| 過(guò)載壓力 | Overload pressures | 200%F.S | |||||||||
| 破壞壓力 | Burst pressures | 300%F.S | |||||||||
| 工作方式 | Operational Mode | 表壓，絕壓，粗真空 | |||||||||
| 測(cè)量介質(zhì) | Measuring Media | -20-100℃ 無(wú)結(jié)冰 | |||||||||
| 輸出信號(hào) | Output signal | 0~5V 1~5V 0~10V 4~20mA | |||||||||
| 泄露測(cè)試 | Leakage test | 1.0× 10kPa L/sec（atm STD cc/SEC）符合SEMI F1 | |||||||||
| 接液部分 | Fitting materia | SUS 316L不銹鋼，RA 5（≤0.13μm） | |||||||||
| 工作電壓 | Operating voltage | 24VDC(12~32VDC) | |||||||||
| 綜合精度 | Accuracy | ±0.25%F.S（典值） | |||||||||
| 長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | Long-term drift | ≤±0.1%F.S/ 年（典值） | |||||||||
| 工作溫度范圍 | Operating temperature range | -20-85℃ 無(wú)結(jié)冰 | |||||||||
| 絕緣阻抗 | Insulation resistance | ≥100MΩ(100VDC) | |||||||||
| 耐振性能 | Vibration resistance | IEC 60068-2-6 (5…2000Hz, 20g) | |||||||||
| 耐沖擊性 | Shock resistance | IEC 60068-2-27 (50g, 11ms) | |||||||||
| 抗干擾 | EMC proof | IEC 61000-6-2/3/4 | |||||||||
半導(dǎo)體行業(yè)