NS-PT12
該型號(hào)系列為電子特氣輸送系統(tǒng)及設(shè)施專用高純壓差變送器
滿足潔凈工作，無(wú)污染，高吞吐量及長(zhǎng)期穩(wěn)定特性，并提供雙側(cè)1/4'VCRM接口。
接液部分采用SUS316L不銹鋼材料。
芯體采用金屬隔膜式芯體，隔離膜片材料為SUS316L 。
流道內(nèi)部表面電解拋光至RA5 (典值)，確保表面平坦介質(zhì)無(wú)滯留且耐腐蝕。
| 參數(shù) | Specifications | 技術(shù)指標(biāo) Technique data | |||||||||
| 壓力范圍 | Measuring ranges | 0~±100mbar（torr） | |||||||||
| 過(guò)載壓力 | Overload pressures | ±150mbar | |||||||||
| 破壞壓力 | Burst pressures | ±200mbar | |||||||||
| 工作方式 | Operational Mode | 壓差（豎直方向或水平方向） | |||||||||
| 測(cè)量介質(zhì) | Measuring Media | 與接液部分材料兼容的氣體/液體 | |||||||||
| 輸出信號(hào) | Output signal | 0~5V，0~±5V | |||||||||
| 泄露率 | Leakage rate | < 1 x 10-10 MPa l/sec(atm STD cc/sec)，符合SEMI F1 | |||||||||
| 接液部分 | Fitting materia | SUS 316L不銹鋼，RA 5（≤0.13μm） | |||||||||
| 工作電壓 | Operating voltage | 24VDC(10~30VDC) | |||||||||
| 綜合精度 | Accuracy | ≤ ±0.5% F.S @ 25℃ 全溫域≤ ±1%F.S | |||||||||
| 電氣強(qiáng)度 | Dielectric strength | AC800V 1mA 1S | |||||||||
| 耐震性 | Vibration resistance | 無(wú)特殊 | |||||||||
| 耐沖擊性 | Shock resistance | 無(wú)特殊 | |||||||||
| 絕緣阻抗 | Insulation resistance | ≥100MΩ(500VDC) | |||||||||
| 材質(zhì) | Material | 鋁合金 | |||||||||
| 機(jī)械接口 | Mechanical joint | 1/4" VCR M | |||||||||
| 電氣接口 | Electrical connections | DIN 9 x 1 | |||||||||
| 防護(hù)等級(jí) | IP protection | IP65 | |||||||||
半導(dǎo)體行業(yè)